MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動機型（反射專用）。通過軟件控制內(nèi)外部設(shè)備的顯微鏡系統(tǒng)。采用電動控制，可不受樣品或操作人員等各種條件的影響，實現(xiàn)良好的檢查環(huán)境。● 可適用于明場、暗場、微分干涉、熒光、簡易偏光觀察。● 可搭載適用于多種設(shè)備的自動對焦機構(gòu)。
