MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡
MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動(dòng)機(jī)型（反射專用）。
MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動(dòng)機(jī)型（反射專用）。
通過軟件控制內(nèi)外部設(shè)備的顯微鏡系統(tǒng)。采用電動(dòng)控制，可不受樣品或操作人員等各種條件的影響，實(shí)現(xiàn)良好的檢查環(huán)境。
● 可適用于明場、暗場、微分干涉、熒光、簡易偏光觀察。
● 可搭載適用于多種設(shè)備的自動(dòng)對焦機(jī)構(gòu)。
